溶膠-凝膠法也稱為凝膠浸鍍法,，用凝膠浸鍍法從溶液中制備氧化物薄膜，也是一種較老的方法,。1846年法國化學(xué)家J.J. Ebelmen用SiCl4與乙醇混合后,，發(fā)現(xiàn)在濕空氣中發(fā)生水解并形成了凝膠。20 世紀(jì)30年代w. Geffcken證實用金屬醇鹽的水解和凝膠化可以制備氧化物薄膜,。1975 年B. E. Yoldas和M. Yamane制得多孔透明氧化鋁薄膜,。20 世紀(jì)80年代以來，在玻璃上制得復(fù)合氧化物薄膜,。