影響化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)鍍膜玻璃質(zhì)量的因素
1.安裝鍍膜反應(yīng)器處的玻璃溫度,。溫度低,膜層薄;溫度過高,,沉積速率過慢,,膜層稀疏,,甚至出現(xiàn)針孔或氣泡,溫度合適時(shí)膜層質(zhì)量最好,。其原因是高溫時(shí)沉積速率對溫度不敏感,,而在溫度適當(dāng)時(shí),沉積速率大增;低溫時(shí),,沉積速率又下降,。
2.玻璃的拉引速度。玻璃拉引速度波動,,會造成膜層厚度的波動,,使膜層薄厚不均。為此,,玻璃的拉引速度要控制平穩(wěn),。
3.反應(yīng)副產(chǎn)物及未反應(yīng)物要及時(shí)排出,但排出速度要合理,。排出速度過大,,影響氣體物質(zhì)在玻璃基片表面不能形成穩(wěn)定的層流,造成膜層厚度不均,,甚至不能成膜;當(dāng)排出速度過小或沒有及時(shí)排除,反應(yīng)副產(chǎn)物及未反應(yīng)物將分解生成顆粒狀物質(zhì)沉積在膜面上,,造成瑕疵,。
目前化學(xué)沉積法工業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品,只開發(fā)利用在浮法玻璃上覆蓋一層牢固的My物質(zhì)膜層,,在理論上及技術(shù)上,,在浮法玻璃上預(yù)先覆蓋一層具有某種功能的膜層,然后再覆蓋一層My物質(zhì)膜層,,這是完全可能的,,這樣,化學(xué)沉積法就可生產(chǎn)出品種多樣,、性能獨(dú)特,、功能各異的新穎產(chǎn)品,前景廣闊,。
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