的跑驚時時,，真空室內(nèi)殘余氣體分子中，燕氣分子的平均自由程大于蒸發(fā)展與基片的距寒時,，就會獲得充分的便服條件,。因此,，把真空室抽成兩其空，頂少現(xiàn)示氣體的分子數(shù),、增大殘余氣體分子的平均自由程,，使得蒸氣分子與殘余氣體分子的碰撞機(jī)會減少，這是非常必要的,。

　　當(dāng)真空度提高時,，蒸氣分子從蒸發(fā)源到基片的過程中，與殘余分子碰撞的概率下降,。因此,，真空鍍鋁時在6X 10-2Pa以上能形成良好的膜層。當(dāng)真空度低時,，會出現(xiàn)下述兩種情況:

　?、倩砻嫖街S多殘余氣體分子，當(dāng)蒸發(fā)材料的蒸氣分子到達(dá)基片之后,，在基片表面殘余氣體分子與蒸發(fā)材料的蒸氣分子將產(chǎn)生化合作用,，所形成的化合物影響膜的質(zhì)量。

　?、谡舭l(fā)材料的蒸氣分子到達(dá)基片表面的過程中與殘余氣體分子發(fā)生碰撞的概率增加,，使得蒸發(fā)材料蒸氣分子消耗大量的動能，以致達(dá)不到基片表面,，即使到達(dá)基片表面,，其吸附性能也會大大降低。因此膜層松散無力,，嚴(yán)重時出現(xiàn)粉末狀的附著,，一擦即脫落。在實(shí)際生產(chǎn)中觀察到,，真空室的真空度低于10--Pa時,，鋁膜呈灰色，其附著力降低,，當(dāng)真空度更低時,，鋁膜呈黑色，附著力很低,。