為了使蒸發(fā)材料氣化,，在真空蒸發(fā)過(guò)程中,，大多數(shù)據(jù)發(fā)材料都必須在10001750C溫度下進(jìn)行蒸發(fā)，因此,，必須采用各種加熱方法將蒸發(fā)材料加熱,，通常把真空設(shè)備中對(duì)蒸發(fā)材料進(jìn)行加熱的零件稱為蒸發(fā)源,。蒸發(fā)鍍膜的蒸發(fā)源有多種形式,，如電阻加熱源,、電子束加熱源、高頻感應(yīng)加熱源等,，大面積玻璃基片蒸發(fā)鍍膜常用電阻加熱源,。

　　1電阻蒸發(fā)源蒸鍍法

　　采用租,、鉬,、鎢等高熔點(diǎn)金屬,，做成適當(dāng)形狀的蒸發(fā)源，其上裝入待蒸發(fā)材料,，讓氣流通過(guò),，對(duì)蒸發(fā)材料進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)，或者把待蒸發(fā)材料放人氧化鋁,，氧化鈹?shù)熔釄逯羞M(jìn)行間接加熱蒸發(fā),，這就是電阻加熱蒸發(fā)法。

　　(1)電阻加熱源

　　電阻加熱源是用高阻抗材料構(gòu)成,，當(dāng)電流通過(guò)加熱源時(shí)產(chǎn)生大量的熱能,，用此熱量來(lái)加熱蒸發(fā)材料。加熱源是加熱體和支撐蒸發(fā)材料的支承物,，形狀有單股絲狀螺旋形,、多股絲狀螺旋形、“凹"形舟,、方形舟,、圓錐形單股絲等，它們是直接加熱蒸發(fā)源,。間接加熱蒸發(fā)源由坩堝和加熱體組成,，將粉狀蒸發(fā)材料放人坩堝中，加熱體裝在坩堝外面,，用加熱體加熱坩堝而間接加熱粉狀蒸發(fā)材料,。為了加速加熱粉狀蒸發(fā)材料及提高加熱效率，將加熱體分成兩部分,，一部分裝在坩堝外面,，另一部分插人粉狀蒸發(fā)材料中，共同加熱粉狀蒸發(fā)材料,，此種類型則是綜合型加熱蒸發(fā)源,。電阻蒸發(fā)源形狀示意圖如圖4-10所示。