將襯底放置于真空中會(huì)促使揮發(fā)雜質(zhì)的蒸發(fā),。這種方法的效果與襯底在真空中保留時(shí)間的長短,、溫度,、污染物的類型及襯底材料有關(guān),。在室溫高真空條件下,，局部壓力對(duì)解吸的影響是可以忽略的,，解吸是由加熱產(chǎn)生的,。加熱玻璃表面促使吸附的水分子和各種碳?xì)浠衔锓肿拥慕馕饔糜胁煌潭鹊脑黾?，這與溫度有關(guān),。外加溫度在100~850C，需要加熱的時(shí)間在10~60min,。在超高真空下,，為了得到原子級(jí)清潔表面，加熱溫度必須高于450C才行,。對(duì)于較高溫度襯底上淀積膜(制備特殊性質(zhì)的膜)的情形,，加熱清洗特別有效。但是由于加熱的結(jié)果,，也就會(huì)發(fā)生某些碳?xì)浠衔锞酆铣奢^大的團(tuán)粒,，并同時(shí)分解成炭渣。然而高溫火焰處理(如氫-空氣火焰)效果很好,，雖然這個(gè)過程中表面溫度僅約100C,，火焰中存在著各種離子、雜質(zhì)及高熱能分子,。-般認(rèn)為,，火焰的清潔作用與一種輝光放電作用相類似，在輝光放電中,，離子化的高能粒子撞擊待清潔表面,。